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第五十一章 圆筒式刻蚀机（第2页）

适者生存是香港的生存手册，如同空气一样，充实在香港的方方面面。

正是于此，香港的各个大学非常重视学生的社会实践，他们可不想培养出的学生都是些智商极高，情商低得让人无语得社会低能儿。

“喝喝，卡姆，你过了哈。”

凌世哲提醒自己的一名工程师。

卡姆是意大利人，哈哈大笑说道：“boss，这太有意思了，看到那帮学生出丑的样子，我就想笑，这让我想起了年轻的时候。”

另一边一名来自理工大学的教授说道：“没有关系的凌少，你们得工程师做得很好，这样可以让这帮菜鸟得到尽可能的锻炼，这对他们日后踏入社会在工作和生活上都有很大的好处。”

一名安布雷拉的工程师说道：“boss，刚开始的时候我们也不是这样的，我们没这么挑剔，自从明白教授们对学生们故意“刁难”

的目的后，我们才加入其中跟着“刁难”

他们的，香港的大学对学生得培养方式非常的有意思，通过这种特殊得培养方式培养出的学生，他们都非常的自信和独立。”

其他的工程师都跟着点了点头。

这种方式是香港的大学所特有，其他地方是没有的，学生通过这种实践的锻炼后，做事干净利落、条理分明、忙而有序，遇事不慌忙急躁，知道先干什么，然后再干什么。

其他地方和国家的大学都有不同的方法来锻炼学生的独立和自信，但香港的方法最特殊，他集合了东方和西方大学的一些优秀经验，走出一条自己的路。

那几个学生从刚开始一番手忙脚乱之后，慢慢得开始变得有了些章法了，最后终于把所有人的茶水跟咖啡都准确无比的端给了大家，他们才退了出去，走时还把会议室的门不忘关上。

人全部走了以后，王海华才把凌世哲交给他的资料袋打开，不出他所料里面是好几张晒制图和一些技术资料。

把资料依次分给了其他教授和工程师，他自己把晒图纸摊开在会议桌上，从衣兜里拿出眼镜盒打开，取出老花镜戴上，向晒制图看去，旁边邱明和克里斯托福以及两个教授和一名安布雷拉的工程师也走了过来，一起向这章晒图纸看去。

图纸上左下角数据栏写着圆筒式等离子处理系统。

自从上次他们告诉凌世哲电耦合等离子体刻蚀系统无法短时间搞出来后，凌世哲这些天查了好多资料，终于找出了一套替代方案。

半导体历史上对硅片的刻蚀在77年以前都是采用的化学湿法腐蚀技术工艺，这种技术是利用乙酸或h2o缓冲的hfhno3溶液与薄膜建所进行的化学反应，来去除薄膜未被光刻胶覆盖的部分来到达刻蚀目的，这种刻蚀方法又叫湿法刻蚀技术，是一种纯化学刻蚀。

后来随着半导体技术的进步，湿法刻蚀技术走到了镜头，开始进入干法刻蚀。

它不使用液体，是利用等离子体或高能粒子束轰击的方式来对晶元进行刻蚀。

桶式刻蚀机是最早的刻蚀机，也是最简单的刻蚀机。

凌世哲设计得圆筒式刻蚀系统是在桶式刻蚀机上改进而来的，它采用一款通用的真空处理舱及机箱，是一款满足等离子去胶，清除浮渣，各向同性和各向同性蚀，采用高模块化装配设计、多功能真空舱体－电极设计、结构紧凑，具有自动化工艺程序的等离子体刻蚀设备。

凌世哲就是要用这个套装置来代替icp刻蚀机，这套系统的刻蚀尺寸极限是0.5微米；按照现在的半导体技术发展速度，这套设备使用达到极限后，icp刻蚀机已经完全可以进入使用阶段了，到时候就可以跟圆筒式刻蚀机进行交接，把它替换下来。

这样他就不需要像原先的历史那样，频繁的更换刻蚀机。

这是他苦思了很久才想出来的一套解决方案。

良久以后，凌世哲问道：“如何，以现在的科技能不能把它造出来？”

邱明与众人互相看了看，点了点头，说道：“设计上没什么问题，只需要花些时间做几个试验找出最佳的数据值，明年三月份以前就可以定型投入使用了。”

要明年才能出来，凌世哲显然对这个进度不满意，说道：“给你们三个月时间能不能搞出来？”